VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Si3N4 Coating/Glass: 3 hr in box after UV treatment (35 TOA, Mesh)
1

NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1

Si3N4 Coating/Glass: 3 hr in box after UV treatment (35 TOA, Mesh)
2003
5
10
15
47
9
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.7
1
0
4
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1100
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
2202
106
17464
0.0603073
0.397444
795
0.397444
745
0.396009
749
0.394583
828
0.393166
845
0.391757
799
0.390357
750
0.388966
771
0.387583
764
0.386209
724
0.384843
729
0.383485
751
0.382135
805
0.380794
741
0.37946
751
0.378135
758
0.376817
779
0.375508
775
0.374206
754
0.372911
769
0.371625
797
0.370346
789
0.369075
760
0.367811
834
0.366554
767
0.365305
772
0.364063
802
0.362828
819
0.361601
785
0.36038
817
0.359167
803
0.35796
801
0.356761
792
0.355568
833
0.354383
837
0.353204
822
0.352031
823
0.350866
825
0.349706
812
0.348554
926
0.347408
803
0.346268
874
0.345135
837
0.344008
902
0.342888
802
0.341773
846
0.340665
850
0.339563
861
0.338468
908
0.337378
884
0.336294
831
0.335216
886
0.334144
886
0.333078
846
0.332018
847
0.330963
960
0.329914
858
0.328871
880
0.327834
922
0.326802
909
0.325776
947
0.324755
875
0.32374
911
0.32273
906
0.321725
958
0.320726
1000
0.319732
961
0.318744
932
0.31776
910
0.316782
955
0.315809
998
0.314841
1017
0.313879
1006
0.312921
938
0.311968
968
0.31102
957
0.310077
1005
0.309139
1003
0.308206
987
0.307278
1051
0.306354
1005
0.305435
1040
0.304521
1051
0.303612
1018
0.302707
1014
0.301807
1073
0.300911
1038
0.30002
1096
0.299134
1097
0.298252
1099
0.297374
1087
0.296501
1080
0.295632
1092
0.294768
1102
0.293908
1062
0.293052
1109
0.2922
1107
0.291353
1102
0.29051
1173
0.289671
1124
0.288836
1211
0.288006
1207
0.287179
1230
0.286357
1211
0.285538
1261
0.284724
1291
0.283913
1327
0.283106
1302
0.282304
1252
0.281505
1176
0.28071
1159
0.279919
1199
0.279132
1158
0.278348
1151
0.277569
1088
0.276793
1114
0.276021
1122
0.275252
1075
0.274487
1145
0.273726
1080
0.272968
1210
0.272214
1185
0.271464
1240
0.270717
1342
0.269973
1456
0.269233
1523
0.268497
1554
0.267764
1693
0.267034
1631
0.266308
1621
0.265585
1398
0.264866
1342
0.26415
1203
0.263437
1125
0.262727
1067
0.262021
1056
0.261318
964
0.260618
867
0.259922
869
0.259228
813
0.258538
748
0.257851
746
0.257167
693
0.256486
755
0.255808
732
0.255134
762
0.254462
689
0.253793
754
0.253128
763
0.252465
720
0.251805
788
0.251149
717
0.250495
722
0.249844
725
0.249196
739
0.248551
779
0.247909
759
0.247269
695
0.246633
766
0.245999
740
0.245368
733
0.24474
730
0.244114
772
0.243492
699
0.242872
781
0.242254
778
0.24164
751
0.241028
749
0.240418
750
0.239812
732
0.239208
797
0.238606
768
0.238007
790
0.237411
730
0.236817
767
0.236226
783
0.235637
760
0.235051
780
0.234467
773
0.233886
780
0.233308
754
0.232731
796
0.232157
759
0.231586
772
0.231017
777
0.23045
704
0.229886
826
0.229324
773
0.228765
816
0.228208
851
0.227653
816
0.2271
800
0.22655
808
0.226002
790
0.225456
781
0.224913
822
0.224372
795
0.223833
792
0.223296
788
0.222761
874
0.222229
815
0.221699
814
0.221171
790
0.220645
800
0.220121
783
0.219599
842
0.21908
790
0.218563
835
0.218047
840
0.217534
800
0.217023
850
0.216514
910
0.216007
822
0.215502
833
0.214999
826
0.214498
797
0.213999
801
0.213502
795
0.213007
854
0.212514
847
0.212022
844
0.211533
801
0.211046
831
0.210561
792
0.210077
835
0.209596
889
0.209116
850
0.208638
852
0.208163
849
0.207688
890
0.207216
830
0.206746
851
0.206277
874
0.205811
842
0.205346
845
0.204883
855
0.204422
914
0.203962
924
0.203504
885
0.203048
837
0.202594
896
0.202141
834
0.201691
866
0.201242
921
0.200794
915
0.200349
878
0.199905
870
0.199462
943
0.199022
890
0.198583
898
0.198146
892
0.19771
886
0.197276
893
0.196844
935
0.196413
918
0.195984
925
0.195556
875
0.19513
901
0.194706
876
0.194283
990
0.193862
872
0.193443
929
0.193024
952
0.192608
925
0.192193
958
0.19178
955
0.191368
898
0.190957
926
0.190548
977
0.190141
933
0.189735
937
0.189331
968
0.188928
938
0.188526
970
0.188126
910
0.187728
916
0.18733
903
0.186935
959
0.18654
946
0.186148
937
0.185756
1011
0.185366
963
0.184978
968
0.18459
999
0.184205
941
0.18382
972
0.183437
976
0.183055
1010
0.182675
1007
0.182296
1036
0.181918
993
0.181542
1006
0.181167
991
0.180793
995
0.180421
965
0.18005
968
0.17968
1053
0.179312
1015
0.178945
966
0.178579
982
0.178214
1088
0.177851
1006
0.177489
1076
0.177128
1045
0.176769
1021
0.176411
987
0.176054
1024
0.175698
1000
0.175343
1019
0.17499
1042
0.174638
1046
0.174287
1036
0.173937
1096
0.173589
1029
0.173242
1070
0.172896
1057
0.172551
1112
0.172207
1135
0.171864
1094
0.171523
1033
0.171183
1076
0.170844
1085
0.170506
1135
0.170169
1062
0.169833
1106
0.169499
1071
0.169165
1121
0.168833
1088
0.168502
1079
0.168172
1144
0.167843
1133
0.167515
1086
0.167189
1180
0.166863
1105
0.166538
1081
0.166215
1126
0.165893
1085
0.165571
1138
0.165251
1133
0.164932
1090
0.164614
1139
0.164297
1198
0.163981
1120
0.163666
1114
0.163352
1105
0.163039
1096
0.162727
1166
0.162416
1091
0.162106
1198
0.161797
1192
0.161489
1149
0.161182
1237
0.160877
1206
0.160572
1264
0.160268
1171
0.159965
1142
0.159663
1145
0.159362
1216
0.159062
1237
0.158763
1181
0.158465
1178
0.158168
1155
0.157872
1235
0.157577
1172
0.157283
1236
0.156989
1271
0.156697
1257
0.156406
1290
0.156115
1248
0.155825
1317
0.155537
1235
0.155249
1273
0.154962
1302
0.154676
1268
0.154391
1272
0.154107
1303
0.153824
1306
0.153542
1268
0.15326
1280
0.15298
1242
0.1527
1264
0.152421
1268
0.152143
1245
0.151866
1382
0.15159
1303
0.151315
1295
0.15104
1335
0.150767
1295
0.150494
1316
0.150222
1337
0.149951
1350
0.149681
1324
0.149411
1368
0.149143
1420
0.148875
1358
0.148608
1383
0.148342
1292
0.148077
1412
0.147812
1358
0.147548
1459
0.147285
1393
0.147023
1395
0.146762
1423
0.146502
1399
0.146242
1418
0.145983
1443
0.145725
1426
0.145468
1337
0.145211
1361
0.144955
1422
0.1447
1373
0.144446
1459
0.144193
1492
0.14394
1439
0.143688
1411
0.143437
1437
0.143186
1452
0.142937
1538
0.142688
1523
0.142439
1534
0.142192
1637
0.141945
1529
0.141699
1468
0.141454
1497
0.141209
1522
0.140965
1509
0.140722
1484
0.14048
1463
0.140238
1476
0.139997
1568
0.139757
1503
0.139518
1607
0.139279
1585
0.139041
1570
0.138803
1553
0.138566
1610
0.13833
1638
0.138095
1618
0.13786
1657
0.137626
1636
0.137393
1626
0.13716
1564
0.136928
1561
0.136697
1593
0.136466
1564
0.136236
1600
0.136007
1644
0.135779
1690
0.135551
1690
0.135323
1655
0.135097
1612
0.134871
1677
0.134645
1653
0.13442
1716
0.134196
1689
0.133973
1691
0.13375
1729
0.133528
1696
0.133306
1780
0.133085
1780
0.132865
1826
0.132645
1735
0.132426
1729
0.132208
1790
0.13199
1784
0.131773
1817
0.131556
1793
0.13134
1841
0.131125
1708
0.13091
1785
0.130696
1794
0.130483
1803
0.13027
1843
0.130057
1837
0.129846
1891
0.129634
1874
0.129424
1858
0.129214
1936
0.129004
1868
0.128795
1845
0.128587
1874
0.12838
1862
0.128172
1977
0.127966
1961
0.12776
1907
0.127555
1909
0.12735
2029
0.127145
1962
0.126942
2055
0.126739
1960
0.126536
2042
0.126334
1979
0.126132
2046
0.125931
1995
0.125731
2094
0.125531
2026
0.125332
1998
0.125133
2075
0.124935
2158
0.124737
2067
0.12454
2121
0.124344
2100
0.124147
2124
0.123952
2077
0.123757
2158
0.123562
2307
0.123368
2200
0.123175
2188
0.122982
2215
0.12279
2199
0.122598
2205
0.122406
2246
0.122215
2239
0.122025
2208
0.121835
2268
0.121646
2281
0.121457
2264
0.121269
2283
0.121081
2331
0.120893
2337
0.120707
2338
0.12052
2482
0.120334
2414
0.120149
2373
0.119964
2375
0.11978
2436
0.119596
2372
0.119412
2427
0.119229
2416
0.119047
2446
0.118865
2516
0.118683
2490
0.118502
2431
0.118322
2414
0.118142
2452
0.117962
2517
0.117783
2606
0.117604
2482
0.117426
2472
0.117248
2529
0.117071
2533
0.116894
2464
0.116718
2543
0.116542
2507
0.116366
2630
0.116191
2721
0.116017
2782
0.115843
2965
0.115669
3078
0.115496
3008
0.115323
3122
0.115151
3088
0.114979
3266
0.114807
3140
0.114636
2988
0.114466
2803
0.114295
2613
0.114126
2530
0.113956
2573
0.113788
2463
0.113619
2364
0.113451
2301
0.113284
2196
0.113116
2118
0.11295
1974
0.112783
1804
0.112617
1787
0.112452
1607
0.112287
1636
0.112122
1607
0.111958
1721
0.111794
2120
0.111631
3870
0.111468
10661
0.111305
17464
0.111143
11250
0.110981
4159
0.11082
2092
0.110659
1715
0.110498
1566
0.110338
1505
0.110178
1505
0.110019
1503
0.10986
1463
0.109701
1479
0.109543
1417
0.109385
1416
0.109228
1430
0.109071
1488
0.108914
1531
0.108758
1461
0.108602
1566
0.108447
1473
0.108292
1544
0.108137
1534
0.107982
1502
0.107829
1534
0.107675
1529
0.107522
1551
0.107369
1486
0.107216
1549
0.107064
1443
0.106912
1542
0.106761
1493
0.10661
1603
0.106459
1570
0.106309
1542
0.106159
1549
0.10601
1561
0.105861
1507
0.105712
1569
0.105563
1532
0.105415
1589
0.105267
1556
0.10512
1581
0.104973
1590
0.104826
1584
0.10468
1541
0.104534
1557
0.104388
1585
0.104243
1664
0.104098
1671
0.103953
1589
0.103809
1627
0.103665
1621
0.103522
1583
0.103378
1564
0.103235
1688
0.103093
1605
0.102951
1607
0.102809
1674
0.102667
1624
0.102526
1647
0.102385
1588
0.102245
1690
0.102104
1671
0.101964
1692
0.101825
1614
0.101686
1643
0.101547
1635
0.101408
1718
0.10127
1709
0.101132
1624
0.100994
1600
0.100857
1657
0.10072
1691
0.100583
1681
0.100447
1692
0.100311
1662
0.100175
1752
0.10004
1631
0.0999048
1656
0.09977
1745
0.0996356
1789
0.0995014
1757
0.0993676
1810
0.099234
1686
0.0991008
1785
0.0989679
1727
0.0988353
1689
0.098703
1871
0.098571
1902
0.0984393
1846
0.0983079
1724
0.0981767
1727
0.0980459
1715
0.0979154
1697
0.0977852
1671
0.0976553
1710
0.0975257
1748
0.0973964
1662
0.0972674
1702
0.0971386
1640
0.0970102
1668
0.096882
1670
0.0967542
1614
0.0966266
1644
0.0964993
1648
0.0963723
1631
0.0962456
1647
0.0961192
1699
0.095993
1681
0.0958672
1743
0.0957416
1819
0.0956163
1848
0.0954913
1903
0.0953666
1925
0.0952421
1833
0.095118
1748
0.0949941
1748
0.0948704
1687
0.0947471
1659
0.094624
1540
0.0945012
1504
0.0943787
1477
0.0942564
1295
0.0941345
1325
0.0940128
1202
0.0938913
1137
0.0937701
1101
0.0936492
1002
0.0935286
960
0.0934082
937
0.0932881
1045
0.0931683
1115
0.0930487
1162
0.0929294
1236
0.0928103
2177
0.0926915
4956
0.092573
6079
0.0924547
3038
0.0923367
1246
0.092219
931
0.0921015
883
0.0919842
904
0.0918672
920
0.0917505
869
0.091634
862
0.0915178
841
0.0914018
859
0.0912861
848
0.0911707
841
0.0910554
842
0.0909405
827
0.0908257
843
0.0907113
883
0.090597
834
0.0904831
840
0.0903693
943
0.0902558
929
0.0901426
878
0.0900296
914
0.0899168
881
0.0898043
895
0.089692
895
0.08958
890
0.0894682
856
0.0893567
938
0.0892453
906
0.0891343
892
0.0890234
890
0.0889128
927
0.0888024
938
0.0886923
1009
0.0885824
935
0.0884727
866
0.0883633
891
0.0882541
911
0.0881451
858
0.0880364
951
0.0879279
861
0.0878196
941
0.0877115
932
0.0876037
975
0.0874961
925
0.0873887
938
0.0872815
974
0.0871746
981
0.0870679
990
0.0869614
979
0.0868552
1010
0.0867492
983
0.0866434
1000
0.0865378
982
0.0864324
930
0.0863272
947
0.0862223
952
0.0861176
959
0.0860131
992
0.0859088
986
0.0858048
1001
0.0857009
980
0.0855973
990
0.0854939
1070
0.0853907
1010
0.0852877
1026
0.0851849
992
0.0850824
1013
0.08498
1033
0.0848779
1045
0.0847759
1033
0.0846742
1007
0.0845727
1062
0.0844714
1020
0.0843703
1036
0.0842694
1061
0.0841688
994
0.0840683
1075
0.083968
1121
0.0838679
1056
0.0837681
1098
0.0836684
1091
0.083569
1076
0.0834697
1104
0.0833707
1144
0.0832718
1049
0.0831732
1110
0.0830747
1140
0.0829765
1088
0.0828784
1098
0.0827806
1159
0.0826829
1141
0.0825855
1137
0.0824882
1139
0.0823912
1172
0.0822943
1115
0.0821976
1056
0.0821012
1127
0.0820049
1151
0.0819088
1105
0.0818129
1087
0.0817172
1084
0.0816217
1095
0.0815264
1079
0.0814312
1016
0.0813363
1110
0.0812415
1106
0.081147
1132
0.0810526
1239
0.0809584
1398
0.0808644
1875
0.0807706
2502
0.080677
2668
0.0805835
1654
0.0804903
1127
0.0803972
1028
0.0803043
994
0.0802116
1038
0.0801191
1030
0.0800268
1022
0.0799346
1022
0.0798427
1008
0.0797509
1052
0.0796593
1013
0.0795678
1038
0.0794766
968
0.0793855
1069
0.0792946
1043
0.0792039
1053
0.0791134
1060
0.079023
1047
0.0789329
1013
0.0788429
1024
0.078753
1057
0.0786634
1071
0.0785739
1068
0.0784846
1073
0.0783955
1071
0.0783065
1066
0.0782177
1084
0.0781291
997
0.0780407
1096
0.0779524
1087
0.0778643
1114
0.0777764
1091
0.0776886
1053
0.0776011
1057
0.0775136
1072
0.0774264
1131
0.0773393
1099
0.0772524
1043
0.0771657
1153
0.0770791
1086
0.0769927
1101
0.0769064
1168
0.0768203
1093
0.0767344
1153
0.0766487
1120
0.0765631
1113
0.0764777
1215
0.0763924
1144
0.0763073
1130
0.0762224
1202
0.0761376
1162
0.076053
1079
0.0759685
1153
0.0758842
1170
0.0758001
1198
0.0757162
1181
0.0756323
1130
0.0755487
1194
0.0754652
1172
0.0753819
1239
0.0752987
1162
0.0752157
1180
0.0751328
1234
0.0750501
1187
0.0749675
1224
0.0748852
1198
0.0748029
1162
0.0747208
1246
0.0746389
1219
0.0745571
1205
0.0744755
1218
0.074394
1244
0.0743127
1288
0.0742315
1282
0.0741505
1310
0.0740697
1255
0.073989
1287
0.0739084
1276
0.073828
1244
0.0737477
1249
0.0736676
1273
0.0735877
1302
0.0735078
1295
0.0734282
1314
0.0733487
1358
0.0732693
1348
0.0731901
1289
0.073111
1317
0.0730321
1300
0.0729533
1325
0.0728746
1336
0.0727961
1354
0.0727178
1342
0.0726396
1332
0.0725615
1261
0.0724836
1324
0.0724059
1325
0.0723282
1260
0.0722507
1328
0.0721734
1402
0.0720962
1332
0.0720191
1457
0.0719422
1439
0.0718654
1438
0.0717888
1507
0.0717123
1612
0.0716359
1695
0.0715597
1570
0.0714836
1618
0.0714077
1612
0.0713319
1517
0.0712562
1432
0.0711807
1444
0.0711053
1374
0.07103
1328
0.0709549
1321
0.0708799
1233
0.0708051
1186
0.0707304
1147
0.0706558
1076
0.0705814
1014
0.0705071
933
0.0704329
917
0.0703588
998
0.0702849
899
0.0702112
941
0.0701375
1089
0.070064
1432
0.0699906
2431
0.0699174
4221
0.0698443
5443
0.0697713
4212
0.0696984
2321
0.0696257
1424
0.0695531
1078
0.0694807
991
0.0694083
892
0.0693361
846
0.0692641
819
0.0691921
840
0.0691203
784
0.0690486
827
0.068977
757
0.0689056
794
0.0688343
774
0.0687631
748
0.0686921
753
0.0686211
735
0.0685503
766
0.0684796
767
0.0684091
769
0.0683386
762
0.0682683
783
0.0681982
801
0.0681281
841
0.0680582
850
0.0679883
881
0.0679187
916
0.0678491
933
0.0677796
962
0.0677103
966
0.0676411
947
0.067572
891
0.0675031
803
0.0674342
741
0.0673655
734
0.0672969
674
0.0672284
610
0.0671601
554
0.0670918
493
0.0670237
466
0.0669557
399
0.0668878
346
0.06682
308
0.0667524
279
0.0666849
269
0.0666174
242
0.0665501
312
0.066483
423
0.0664159
1240
0.0663489
3463
0.0662821
5192
0.0662154
3712
0.0661488
1249
0.0660823
329
0.0660159
218
0.0659496
217
0.0658835
194
0.0658175
193
0.0657515
198
0.0656857
193
0.06562
182
0.0655545
191
0.065489
193
0.0654236
183
0.0653584
162
0.0652932
183
0.0652282
178
0.0651633
200
0.0650985
199
0.0650338
196
0.0649692
220
0.0649048
198
0.0648404
190
0.0647761
210
0.064712
195
0.064648
221
0.064584
200
0.0645202
186
0.0644565
246
0.0643929
241
0.0643294
209
0.064266
182
0.0642027
188
0.0641396
222
0.0640765
183
0.0640135
207
0.0639507
211
0.0638879
182
0.0638253
218
0.0637628
205
0.0637003
203
0.063638
183
0.0635758
211
0.0635136
218
0.0634516
188
0.0633897
196
0.0633279
224
0.0632662
232
0.0632046
212
0.0631431
209
0.0630817
212
0.0630204
244
0.0629592
248
0.0628981
263
0.0628371
247
0.0627762
250
0.0627155
238
0.0626548
228
0.0625942
242
0.0625337
233
0.0624733
236
0.062413
222
0.0623528
216
0.0622928
216
0.0622328
238
0.0621729
195
0.0621131
186
0.0620534
200
0.0619938
201
0.0619343
207
0.0618749
193
0.0618156
212
0.0617564
207
0.0616973
248
0.0616383
286
0.0615794
345
0.0615206
534
0.0614619
652
0.0614032
618
0.0613447
460
0.0612863
282
0.0612279
215
0.0611697
214
0.0611115
274
0.0610535
260
0.0609955
184
0.0609377
106
0.0608799
111
0.0608222
156
0.0607647
229
0.0607072
219
0.0606498
243
0.0605925
206
0.0605353
200
0.0604781
219
0.0604211
198
0.0603642
164
0.0603073
end of experiment
